本所以建立綜合精密機械、光學、電子、電機、材料等領域之精密製造、精密量測、檢測與感測之基礎教學環境，培育學生從事精密(微)元件及精密(微)系統之研發、設計與製造之能力為目標。本所現有師資，以及本校相關系所支援師資情況如下：