首頁 研究顉域研究領域

研究領域


【研究領域】


  1. 發展微製造（微加工、矽基加工、奈米加工、薄膜製程等）及微組裝技術。
  2. 發展精密量測、感測、檢測及控制技術。
  3. 發展精密系統整合設計與製造。
  4. 發展精密工程應用技術，如微機電、半導體、醫學、資訊與通訊、精密環境控制及精密遙測等。

【實驗室】